Technologie catalytique (CAT)

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Catรฉgorieย :

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Table des matiรจres

Chapitre 1 – Introduction
1.1 Problรฉmatique
1.2 Objectifs
1.3 Originalitรฉ de la thรจse
1.4 Organisation de la thรจse
Chapitre 2 – Revue de la littรฉratureย 
2.1 Revue des capteurs d’hydrogรจne commerciaux et รฉtude de performances
2.1.1 Technologie catalytique (CAT)
2.1.2 Technologie รฉlectrochimique (EC)
2.1.3 Technologie ร  conductivitรฉ thennique (TCD)
2.1.4 Technologie ร  oxyde mรฉtallique (MOX)
2.1.5 Technologie mรฉtal- oxyde – semi-conducteur (MOS)
2.1.6 ร‰tude des perfonnances
2.1.7 Rรฉsumรฉ de l’รฉtude du marchรฉ des capteurs commerciaux
2.2 L’acoustique comme alternative
2.3 Thรฉorie de l’ acoustique
2.3.1 Description du dispositif acoustique ร  base d’ondes acoustiques de surface
2.3.2 Principe de fonctionnement
2.3.3 Principe de dรฉtection
2.3.4 Modes de propagation de l’onde acoustique
2.4 Rรฉsumรฉ des technologies acoustiques
Chapitre 3 – ร‰tude thรฉorique des mรฉcanismes de dรฉtection dans les couches minces et รฉtude de sensibilitรฉ ยซApplication sur le mode SA Wยปย 
3.1 Approche scientifique proposรฉe pour l’explication du mรฉcanisme de dรฉtection dans les couches minces
3.1.1 Extraction de la vitesse acoustique dans les couches minces ยซDรฉveloppement mathรฉmatiqueยป
3.1.2 Conception des dispositifs
3.1.3 Modรจle รฉlectrique ยซValidation de la conception : Dimensionnement et frรฉquence de fonctionnementยป
3.2 Modรจle multiphysique
3.3 Approche scientifique proposรฉe pour l’รฉtude de sensibilitรฉ des diffรฉrents modes acoustiques susceptibles d’รชtre exploitรฉs
Chapitre 4 – Rรฉsultats expรฉrimentaux ยซApplication sur le mode SAWยปย 
4.1 Procรฉdรฉ de fabrication
4.2 Rรฉalisation des masques
4.3 Rรฉalisation des dispositifs
4.4 Mรฉthodes et paramรจtres de test
4.4.1 Mรฉthode de test
4.4.2 Paramรจtres de test
4.5 ร‰tude en absence d’hydrogรจne
4.6 ร‰tude en prรฉsence d’hydrogรจne
4.7 ร‰tude de sensibilitรฉ des capteurs acoustiques (application sur le mode SAW) ..
Chapitre 5 – Nouvelle gรฉnรฉration ยซOptimisation de la robustesseยปย 
5.1 Identification des modes acoustiques alternatifs exploitรฉs
5.2 Conception des capteurs ร  base de modes acoustiques alternatifs et choix des matรฉriaux
5.2.1 ModeSH-SAW
5.2.2 Mode de Love
5.2.3 Mode de Lamb
5.3 ร‰tude de sensibilitรฉ des diffรฉrents cas
5.3.1 ModeSH-SAW
5.3.2 Mode de Love
5.3.3 Mode de Lamb
Chapitre 6 – Conclusion

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